Ce cerințe de puritate ultra-înaltă guvernează conductele de gaz?
Standarde semi F72 pentru finisarea suprafeței. Outgassing<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0. 1μm). Conținut de umiditate<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Cum sunt preparate sudurile de distribuție a gazelor?
Sudarea orbitală cu argon de puritate ultra-înaltă. Sudarea cu două treceri pentru linii critice. Electropolishing to 0. 25μm RA. Pasivarea cu acid azotic. Clătinire finală cu apă de 18,2 MΩ · cm.
Ce testare validează integritatea conductelor de gaz?
Testarea scurgerilor de heliu la 1 × 10⁻⁹ ATM-CC\/Sec. Analiza gazelor reziduale pentru contaminare. Numărarea particulelor de gaze de purjare. Analiza umidității prin spectroscopie laser. Certificare finală cu gazul de proces real.
Cum sunt conectate dulapurile cu gaz la sistemele de distribuție?
Fitinguri de etanșare a feței VCR pentru articulații etanșe. Conținerea secundară purjată. Tuburi cu pereți duble pentru gaze periculoase. Înteinerea controlului static. Orificate de flux restricționate pentru siguranță.
Ce întreținere împiedică contaminarea sistemului de gaze?
Testarea anuală de scurgere a tuturor conexiunilor. Monitorizarea particulelor în timpul modificărilor gazelor. Verificarea regulată a calității gazelor de purjare. Întreținerea ambalajului valvei. Proceduri stricte de control al modificărilor.
